Ahmed, A. Y.; Witjaksono, G.; Dennis, J. O.; Md Khir, M. H.; Rabih, A. A. S.; Mian, M. U.; Ahmed, M. G. A. High Sensitivity Electrothermal Actuation-Based CMOS-MEMS Relative Humidity Sensor. JTEC 2017, 9, 83-87.